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2023年8月16日上午，嘉善復(fù)旦研究院開園儀式在嘉興嘉善世博開元名都大酒店成功舉行。本次活動由嘉善縣人民政府、復(fù)旦大學(xué)共同主辦，嘉善復(fù)旦研究院承辦。復(fù)旦大學(xué)黨委書記裘新，復(fù)旦大學(xué)校長、中科院院士金力，復(fù)旦大學(xué)常務(wù)副校長許征，浙江省科技廳二級巡視員曹華芬，嘉興市委書記陳偉，嘉興市副市長倪滬平，嘉興市委常委、嘉善縣委書記江海洋，嘉善復(fù)旦研究院院長張衛(wèi)等出席開園儀式，儀式現(xiàn)場近200人見證嘉善復(fù)旦研究院正式開園。開園儀式上，萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司（以下簡稱“嘉芯半導(dǎo)體”）與嘉善復(fù)旦研究院宣布達(dá)成戰(zhàn)略合作。嘉善復(fù)旦研究院副院長丁士進(jìn)先生、嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司董事長兼CEO周偉芳女士等領(lǐng)導(dǎo)參加戰(zhàn)略簽約儀式。

根據(jù)戰(zhàn)略合作協(xié)議的內(nèi)容，雙方將秉持“互利共贏、開放公平、自愿平等、優(yōu)勢互補(bǔ)”的原則，建立戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，共同攜手就集成電路領(lǐng)域的科研合作、產(chǎn)業(yè)合作、人才交流等方面形成長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，充分發(fā)揮各自的資源優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn)共同發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)，合作重點(diǎn)將圍繞技術(shù)攻關(guān)、創(chuàng)新平臺項(xiàng)目申報(bào)、科技成果轉(zhuǎn)化推廣、研發(fā)資源及服務(wù)開放共享、產(chǎn)-學(xué)-研深度融合等領(lǐng)域進(jìn)行全方位互利合作，以期推動嘉善及浙江集成電路高質(zhì)量“芯”發(fā)展。

從整體實(shí)力來看，戰(zhàn)略合作雙方在各自領(lǐng)域具有長期的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累，具備廣泛的優(yōu)勢集成與合作互補(bǔ)基礎(chǔ)。嘉芯半導(dǎo)體作為本土半導(dǎo)體核心裝備新銳企業(yè)之一，于2021年4月由半導(dǎo)體設(shè)備上市公司萬業(yè)企業(yè)攜手全球知名產(chǎn)業(yè)專家共同投資成立，總投資規(guī)模達(dá)20億元，用地面積109畝，公司研發(fā)及制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等等集成電路成熟工藝的關(guān)鍵設(shè)備，產(chǎn)品范圍覆蓋芯片制造核心設(shè)備的多個(gè)重要品類。自2022年下半年開始，嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)客戶特色工藝生產(chǎn)線，包含氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、深槽刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)；高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD)、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速熱處理（RTP）設(shè)備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多類設(shè)備。

嘉善復(fù)旦研究院是為響應(yīng)和落實(shí)《長三角一體化發(fā)展規(guī)劃綱要》國家戰(zhàn)略而建設(shè)的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。依托復(fù)旦大學(xué)集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈學(xué)科優(yōu)勢，研究院致力于高能級創(chuàng)新載體建設(shè)、科研攻關(guān)與成果轉(zhuǎn)化、賦能本地產(chǎn)業(yè)升級、打造協(xié)同創(chuàng)新生態(tài)、助力數(shù)字化改革。作為首輪重點(diǎn)建設(shè)國家集成電路創(chuàng)新中心浙江分中心，研究院承擔(dān)著復(fù)旦大學(xué)人才資源、創(chuàng)新資源，產(chǎn)業(yè)資源與浙江區(qū)域特色經(jīng)濟(jì)精準(zhǔn)對接的“橋頭堡”，推動長三角一體化協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)。

此次戰(zhàn)略合作標(biāo)志著雙方在深化合作、協(xié)同發(fā)展的道路上樹立起新的里程碑，充分發(fā)揮“產(chǎn)業(yè)+學(xué)研”雙輪驅(qū)動功能，實(shí)現(xiàn)提升技術(shù)創(chuàng)新能力、科研成果加速轉(zhuǎn)化的雙向優(yōu)勢賦能，并同步鏈接校企在技術(shù)研發(fā)、人才培養(yǎng)、市場開拓等方面產(chǎn)生強(qiáng)大的協(xié)同效應(yīng)，為我國集成電路行業(yè)的發(fā)展注入“芯”活力。

展望未來，嘉芯半導(dǎo)體將繼續(xù)聚焦集成電路領(lǐng)域發(fā)展的前沿方向，與嘉善復(fù)旦研究院繼續(xù)開拓深度合作，持續(xù)提升關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈、關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵產(chǎn)品能級，源源不斷地為實(shí)現(xiàn)中國集成電路產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展貢獻(xiàn)智慧與力量。

本文來源：財(cái)經(jīng)報(bào)道網(wǎng)

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