萬業(yè)企業(yè)旗下雙子“芯”——凱世通、嘉芯半導體共登SEMICON China 2023

來源：今日熱點網(wǎng)2023-06-30 18:46:43

2023年6月29日，半導體和電子行業(yè)年度盛會SEMICON China 2023在上海新國博中心盛大開幕。作為全球規(guī)模最大、最具影響力的國際半導體專業(yè)展，SEMICON China 2023將吸引世界各地主要半導體設備材料廠商，90000平方米總面積、1100多家參展企業(yè)、4200多個展位、20多場會議和活動的空前盛況也刷新了歷年記錄。

SEMICON China2023現(xiàn)場

作為國內(nèi)集成電路核心裝備領軍企業(yè)，萬業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導體和凱世通攜核心產(chǎn)品、關鍵技術(shù)、解決方案重磅亮相這場匯聚中外行業(yè)領軍人物和技術(shù)大咖的盛會。在E7175號展位，來自半導體產(chǎn)業(yè)鏈的參展嘉賓紛紛駐足參觀，現(xiàn)場工作人員熱情地介紹產(chǎn)品、與訪客友好交流，共話集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展機遇。

萬業(yè)企業(yè)SEMICON China 2023展位

現(xiàn)場工作人員正在為來訪同行介紹產(chǎn)品

為芯“注”力：“國產(chǎn)離子注入機第一梯隊”凱世通重磅亮相

上海凱世通半導體股份有限公司成立于2009年，是萬業(yè)企業(yè)股份有限公司旗下的高端集成電路離子注入機裝備企業(yè)，其擁有國內(nèi)首個獲得驗證驗收的國產(chǎn)集成電路離子注入機大束流和高能離子注入機。不斷增長的主流集成電路制造廠商訂單量也見證著行業(yè)對凱世通的認可，憑借強勁發(fā)展勢能，凱世通持續(xù)領跑國產(chǎn)低能大束流和高能離子注入機系列產(chǎn)品，已經(jīng)成長為國產(chǎn)第一梯隊核心設備廠商。

萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通SEMICON China 2023展位

低能大束流離子注入機iStellar-500系列產(chǎn)品

用途:

iStellar-500系列產(chǎn)品是凱世通推出的一系列低能大束流離子注入機，產(chǎn)品采用“通用平臺+關鍵技術(shù)模塊”研發(fā)模式，快速迭代升級并拓寬離子注入機產(chǎn)品線，覆蓋不同芯片對離子注入的需求，定位于為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產(chǎn)品，并具有良好的產(chǎn)線工藝匹配能力和廣泛的制程覆蓋能力。

特點:

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、實現(xiàn)-100°超低溫注入、主流FAB產(chǎn)線批量生產(chǎn)

高能離子注入機iStellar-HE2000

用途:

iStellar-HE2000是凱世通推出的高能大束流離子注入機產(chǎn)品，采用“通用平臺+關鍵技術(shù)模塊”研發(fā)模式，高壓加速、高注入角度精準度、納米級顆粒污染控制等關鍵技術(shù)，滿足芯片制造的高能離子注入需求。istellar-HE2000產(chǎn)品通過技術(shù)模塊持續(xù)改進，為客戶提供更高可靠性、更低擁有成本的產(chǎn)品。

特點:

高精度注入角度控制、顆粒污染控制、金屬污染控制、零部件國產(chǎn)化自主供應

用芯“嘉”持：嘉芯半導體一站式解決方案展現(xiàn)硬實力

嘉芯半導體設備科技有限公司成立于2021年，由萬業(yè)和全球半導體知名產(chǎn)業(yè)專家共同創(chuàng)立?，F(xiàn)階段旗下已組成嘉芯迦能子公司、嘉芯閎揚子公司與新產(chǎn)品研發(fā)部三大核心板塊。嘉芯半導體將先后布局8吋/12吋半導體前道設備的研發(fā)制造，為當下主流成熟制程提供高性能的產(chǎn)品。目前公司已陸續(xù)向市場推出覆蓋刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理等多品類半導體設備，可為客戶提供一站式解決方案。

集成電路前道設備的一站式解決方案

嘉芯半導體集成電路前道設備一站式解決方案

嘉芯半導體從全流程出發(fā)，覆蓋CVD/PVD/刻蝕等主工藝設備 → 真空泵 → 尾氣處理設備，為客戶構(gòu)建一站式設備解決方案。

自2022下半年開始，嘉芯半導體多次中標多款設備，包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側(cè)墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。