近日,上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司向12吋集成電路新客戶交付了首臺面向CIS(CMOS Image Sensor)的大束流離子注入機。據(jù)悉,2024年一季度,凱世通每月向多家重復(fù)訂單客戶發(fā)貨多臺離子注入機設(shè)備,僅單季度搬入客戶端即有8臺離子注入機,展現(xiàn)了快速發(fā)展的強勁勢頭,實現(xiàn)了一季度開門紅。

面向CIS的離子注入機出廠交付
集成電路產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心,是支撐國家經(jīng)濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),也是當(dāng)前我國亟須重點突破的領(lǐng)域。離子注入機與光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備被稱為芯片制造的“四大核心前道設(shè)備”。由于系統(tǒng)復(fù)雜、技術(shù)門檻高、工藝結(jié)果驗證困難等各方面原因,我國在離子注入機環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化率不足5%,國產(chǎn)替代市場空間廣闊。
凱世通堅持以產(chǎn)業(yè)需求和技術(shù)創(chuàng)新為牽引,實現(xiàn)了低能大束流離子注入機、超低溫離子注入機、高能離子注入機產(chǎn)業(yè)化和重復(fù)訂單。此次攻克技術(shù)難度極高的CIS大束流離子注入機進一步表明凱世通在關(guān)鍵核心技術(shù)上具備持續(xù)自主研發(fā)創(chuàng)新的卓越能力,積極踐行發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力,推動離子注入機技術(shù)突破與產(chǎn)品迭代。
后續(xù)凱世通將在離子注入機領(lǐng)域繼續(xù)深耕細(xì)作、創(chuàng)“芯”升級,豐富產(chǎn)品組合,以更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品回饋客戶,服務(wù)集成電路客戶高質(zhì)量發(fā)展。
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