5月12日下午，“百年榮光 再啟新程”閔行區(qū)慶祝中華全國總工會、上海總工會成立100周年暨模范集體、勞動模范和先進工作者表彰大會隆重舉行。在現(xiàn)場，全國工業(yè)和信息化系統(tǒng)勞動模范、上海市勞動模范代表之一，上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司董事長蔣淵女士上臺分享了自己的創(chuàng)業(yè)經歷和體會。作為民營高科技上市企業(yè)帶頭人，蔣淵女士始終踐行科技報國、產業(yè)報國的初心和使命。

回顧20年前，中國半導體產業(yè)面臨多重困境，蔣淵女士創(chuàng)立至純科技，從最開始的高純工藝系統(tǒng)出發(fā)，逐步向核心設備、電子材料等同能力圈的不同領域拓展。2017年上市后，堅定“自主可控”路徑，研發(fā)團隊攻堅克難，研制出高溫硫酸、單片磷酸等系列單片式機型，技術水平達國內領先、國際先進，部分工藝機臺填補了國產濕法裝備的空白。

作為國產高純工藝系統(tǒng)領軍者，至純科技自主研發(fā)的前驅體設備、研磨液設備等核心支持性設備累計交付量達3.6萬臺，2024年單年出貨量更是破了10,000臺大關。憑借48.8%的12英寸晶圓廠特氣設備市占率，至純科技徹底改寫此前美日法德及臺企的壟斷格局。公司的配套系統(tǒng)實現(xiàn)ppt級不純物控制，多項技術指標超越國際競品。

依托在氣體純化領域25年技術積累，公司已建成國內首座完全國產化的28納米制程12英寸晶圓廠大宗氣站，并實現(xiàn)連續(xù)36個月穩(wěn)定運行。2024年，投運的第二座氣站已進入運營階段，后續(xù)預計每年貢獻數(shù)億元營收，為公司提供長期穩(wěn)定的現(xiàn)金流。配合TGM駐廠服務、腔體部件再生等增值業(yè)務，公司正形成覆蓋晶圓廠全生命周期的服務矩陣。

從起步時的7人團隊，到如今累計申請專利達867項的高新技術企業(yè)集團，至純科技用二十年時間詮釋了"中國智造"的韌性與活力。在發(fā)展進程中，至純科技還勇?lián)a業(yè)鏈“鏈主”之責，攜手四五十家上下游企業(yè)構建產業(yè)集群，全力推進國產化替代，目前已基本實現(xiàn)自主可控，具備持續(xù)為產業(yè)用戶提供高質量服務的能力。盡管前期投入巨大，但這份未雨綢繆在去年12月以來的國際經濟環(huán)境變化中彰顯成效。

立足"十四五"自主可控攻堅期，至純科技正以"關注核心工藝，服務關鍵制程"為使命，向著"成為國內領先的半導體工藝裝備、工藝系統(tǒng)及材料提供商"的目標穩(wěn)步邁進，將繼續(xù)以技術創(chuàng)新為矛、以產業(yè)協(xié)同為盾，在全球半導體競爭的浪潮中，開辟出一條自主可控的發(fā)展之路。

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